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含鈣鈦礦量子點的非晶氧化物浮柵晶體管的制備方法

1061   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-01 00:40:05
本發(fā)明公開了一種含鈣鈦礦量子點的非晶氧化物浮柵晶體管的制備方法。屬于半導(dǎo)體行業(yè)存儲器技術(shù)和光探測技術(shù)領(lǐng)域,所述銦鎵鋅氧薄膜晶體管存儲器或者光電探測器的結(jié)構(gòu)從上到下依次為源漏電極、溝道層、隧穿絕緣介質(zhì)層、浮柵層、柵絕緣層、柵電極和襯底。其中溝道層采用的是非晶氧化物,浮柵層采用的是鈣鈦礦量子點薄膜。本發(fā)明可以有效提高器件對于入射光的收集效率,增強(qiáng)光電轉(zhuǎn)換效率,實現(xiàn)大的電流密度和出色的存儲特性,在光敏存儲器和智能光電感知器等方面有重要的潛在應(yīng)用前景。
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