本發(fā)明公開了一種氮化鎢基三元納米復合超硬薄膜材料及其制備方法。 材料為基底上覆有化學式為WxM1-xN的納米復合超硬薄膜，化學式中的W為金 屬鎢、M為金屬置換物、N為氮、x的取值范圍為0.06～0.72，薄膜由金屬鎢 與金屬M的氮化物固溶相和金屬鎢相構成，或者由氮化鎢相、金屬鎢相和金 屬M相構成，其晶粒尺寸為4～30nm、膜的厚度為3～7μm；方法為，先將由 金屬鎢與金屬置換物構成的復合靶和基底分別置于磁控濺射設備真空室內的 陰極上和樣品臺中，再待真空室的真空度≤1×10-3pa、基底溫度達350～ 450℃后，使真空室處于氬氮混合氣氛下，濺射60～120min，制得氮化鎢基三 元納米復合超硬薄膜材料。它可廣泛地用于機械制造、汽車與紡織工業(yè)、地 質鉆探、模具工業(yè)等領域。