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高EQE和低FWHM的鈣鈦礦光電探測(cè)器及其制作方法

1022   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-02-25 02:00:02
本發(fā)明公開了一種高EQE和低FWHM的鈣鈦礦光電探測(cè)器及其制作方法;傳統(tǒng)的利用電荷收集變窄機(jī)制來實(shí)現(xiàn)窄帶探測(cè)的方法在淬滅掉短波長(zhǎng)載流子的同時(shí)也使目的波長(zhǎng)的外量子效率受到顯著損耗。本發(fā)明包括鈣鈦礦吸收層Ⅰ、電子阻擋層、鈣鈦礦吸收層Ⅱ、電子傳輸層、陽(yáng)極電極和陰極電極。鈣鈦礦吸收層Ⅰ、電子阻擋層、鈣鈦礦吸收層Ⅱ、電子傳輸層依次排列在陽(yáng)極電極與陰極電極之間。鈣鈦礦吸收層Ⅰ和電子阻擋層為P型;鈣鈦礦吸收層Ⅱ和電子傳輸層為N型;電子阻擋層與鈣鈦礦吸收層Ⅱ形成異質(zhì)PN結(jié)。本發(fā)明具有實(shí)現(xiàn)高光響應(yīng)、高比探測(cè)率、高外量子效率和小于20nm的半峰全寬的窄探測(cè)的功能,且外加偏置電壓完全不會(huì)影響器件的窄帶效果。
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