本發(fā)明公開了一種鈣鈦礦晶體、其制備方法及X射線探測(cè)器。本發(fā)明提供了一種鈣鈦礦晶體；其中，所述的鈣鈦礦晶體包括：鈣鈦礦單晶和鈍化層；其中，所述的鈍化層為由鈣鈦礦單晶的表面缺陷與A1X1結(jié)合所形成的結(jié)構(gòu)；且所述鈣鈦礦晶體不含未與所述鈣鈦礦單晶的表面缺陷結(jié)合的A1X1。本發(fā)明對(duì)鈣鈦礦晶體表面進(jìn)行鈍化改性處理。通過(guò)鈍化改性處理提高了鈣鈦礦晶體的離子激活能，改善了離子移動(dòng)現(xiàn)象，降低了器件暗電流；同時(shí)制備出鈣鈦礦單晶共平面結(jié)構(gòu)的高效X射線輻射探測(cè)器；其具有高靈敏度與低檢測(cè)限，并實(shí)現(xiàn)了精細(xì)的X射線成像以及線陣列成像。