一種三氯氫硅合成爐廢硅粉回收裝置，包括合成爐和硅粉收集罐，合成爐通過(guò)金屬軟管與硅粉收集罐的接口連通，具體的說(shuō)，所述合成爐的底部具有錐體結(jié)構(gòu)，所述錐體結(jié)構(gòu)的兩端分別與氮?dú)膺M(jìn)口管線和正常氯化氫進(jìn)氣管線連通，在所述合成爐的錐體結(jié)構(gòu)上部側(cè)壁上設(shè)有硅粉泄放閥，硅粉泄放閥通過(guò)金屬軟管與硅粉收集罐側(cè)壁上的接口連接，在所述硅粉收集罐頂部的氮?dú)獬隹谔幵O(shè)有布袋過(guò)濾器。本實(shí)用新型的有益效果如下：本實(shí)用新型提供的回收裝置，工藝簡(jiǎn)單，工藝條件易于實(shí)現(xiàn)，且操作方便；再生產(chǎn)中可以將合成爐內(nèi)廢舊硅粉全部回收再使用，同時(shí)回收時(shí)不會(huì)對(duì)人員身體產(chǎn)生粉塵危害。