本發(fā)明提出一種靜電預(yù)加載的微納材料力學(xué)性能檢測結(jié)構(gòu)，包括后屈曲式微力檢測結(jié)構(gòu)和靜電式屈曲預(yù)加載結(jié)構(gòu),其中，靜電式屈曲預(yù)加載結(jié)構(gòu)在加載電壓后能夠利用靜電作用力引發(fā)內(nèi)部構(gòu)件變形以實施預(yù)加載，當(dāng)電熱式屈曲預(yù)加載結(jié)構(gòu)未實施預(yù)加載時，后屈曲式微力檢測結(jié)構(gòu)處于自然的無加載狀態(tài)，當(dāng)靜電式屈曲預(yù)加載結(jié)構(gòu)實施預(yù)加載時，后屈曲式微力檢測結(jié)構(gòu)被軸向壓縮，處于預(yù)加載屈曲平衡狀態(tài)，然后后屈曲式微力檢測結(jié)構(gòu)受到試件的軸向微力作用，預(yù)加載屈曲平衡狀態(tài)發(fā)生改變，使后屈曲式微力檢測結(jié)構(gòu)發(fā)生放大的橫向結(jié)構(gòu)變化，從而實現(xiàn)微力檢測。本發(fā)明具有尺寸小、穩(wěn)定可靠，可重復(fù)使用，容易制造，對軸向微力敏感，力分辨率高，橫向變形可控制等優(yōu)點。