本實用新型涉及一種真空氣浮軸承及其性能檢測裝置，該氣浮軸承包括至少一級抽氣通道，采用本實用新型的多級抽氣結(jié)構(gòu)的真空氣浮軸承，可以把提供給平面氣浮軸承的氣體抽排出真空腔體，將平面氣浮軸承對真空度的影響減小到可接受的范圍。該檢測裝置包括真空室；分別與真空室連接的多級抽氣管路、抽真空管路、進(jìn)氣管路、氮氣管路，真空室還連接一真空室真空計，該性能檢測裝置能夠準(zhǔn)確的評估該真空氣浮軸承是否符合實際真空環(huán)境的使用需求，還可判斷該真空氣浮軸承工作時對真空環(huán)境的影響。