本申請公開了一種微量粉塵發(fā)生裝置及粉塵測量儀器性能檢測裝置，包括氣體恒流裝置、氣體發(fā)生腔體、定量泵，氣體恒流裝置的第一出氣口連通氣體發(fā)生腔體的第一進氣口，定量泵的出液口與氣體發(fā)生腔體的第一進氣口連通，定量泵的出液口設(shè)置在氣體恒流裝置第一出氣口的出氣路徑上，包括粉塵測量儀器和微量粉塵發(fā)生裝置，粉塵測量儀器用于檢測氣體發(fā)生腔體內(nèi)的氣體的顆粒濃度，通過比較第一顆粒濃度和第二顆粒濃度從而檢測粉塵測量儀器的瞬時的測量性能，檢測結(jié)果更加準(zhǔn)確。