本實(shí)用新型涉及晶圓流片檢測(cè)裝置的技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種晶圓流片用散熱性能檢測(cè)裝置，其可節(jié)約水資源，提高使用性；同時(shí)方便移動(dòng)檢測(cè)頭使其與樣品進(jìn)行接觸，提高使用效果；且減輕余熱對(duì)樣品散熱效果的影響，提高使用可靠性；同時(shí)方便將樣品從限位環(huán)內(nèi)取出，提高使用效果；包括工作臺(tái)、支撐架、三組檢測(cè)頭、三組顯示器、進(jìn)水管、出水管和三組限位環(huán)，三組顯示器分別與三組檢測(cè)頭電連接；還包括連通管、抽液泵和加熱器，進(jìn)水管輸入端和出水管輸出端分別與抽液泵輸入端和加熱器輸出端連接；支撐架包括四組第一伸縮電機(jī)和頂板；還包括放置盒和調(diào)節(jié)件，放置盒底端與工作臺(tái)頂端接觸；還包括移動(dòng)件，限位環(huán)底端與放置槽內(nèi)底壁接觸。