本發(fā)明公開(kāi)了一種亞波長(zhǎng)光子篩聚焦性能檢測(cè)方法。該檢測(cè)方法采用曝光法和掃描法相結(jié)合的混合檢測(cè)系統(tǒng)，由激光光源、擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)、亞波長(zhǎng)光子篩、已涂有光刻膠的硅片、真空泵、工件臺(tái)、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)組成；其中，工件臺(tái)由PI公司的二維工件臺(tái)和壓電陶瓷共同組成，二維工件臺(tái)用于粗調(diào)，壓電陶瓷用于精調(diào)；工件臺(tái)的運(yùn)動(dòng)方向及步進(jìn)值由計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)的軟件進(jìn)行設(shè)置，其中X方向控制焦距的步進(jìn)，Y方向控制聚焦光斑的移動(dòng)。本發(fā)明的檢測(cè)方法的測(cè)量精度不受CCD像素間距的影響，無(wú)需光學(xué)放大環(huán)節(jié)，不改變光斑在空間的實(shí)際能量分布。