本發(fā)明提供一種探針卡、檢測裝置以及晶圓檢測方法，其中，探針卡包括：電路板，所述電路板具有一孔洞，具有導(dǎo)電圖案；圖像接收組件，設(shè)置于所述電路板的第一面；探針組件，設(shè)置于所述電路板的第二面；光學(xué)整形元件，設(shè)置于所述圖像接收組件的一側(cè)；通過探針卡的探針組件電接觸晶圓上的光源芯片實(shí)現(xiàn)對光源芯片的電導(dǎo)通，通過圖像接組件以及光學(xué)整形元件可以實(shí)現(xiàn)對光源芯片的光學(xué)性能檢測，本發(fā)明可以在晶圓級(jí)上實(shí)現(xiàn)光源芯片的檢測以及質(zhì)量篩選，且可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)對光源芯片進(jìn)行光學(xué)性能檢測以及電學(xué)性能檢測，提高了檢測效率降低了生產(chǎn)成本。