本發(fā)明涉及激光檢測(cè)與材料性能檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,其利用連續(xù)加載的長(zhǎng)脈沖激光準(zhǔn)靜態(tài)加載涂層或薄膜試件表面,利用激光的熱作用對(duì)薄膜表面薄層(僅幾十nm厚)的加熱,以及隨后的熱量熱傳導(dǎo),在試件中形成溫度場(chǎng),由于薄膜-基體材料的熱膨脹系數(shù)和溫度的差異,當(dāng)涂層中形成的熱應(yīng)力達(dá)到一定值時(shí),材料產(chǎn)生脫粘,進(jìn)一步發(fā)生材料翹曲和剝落,同時(shí),進(jìn)給系統(tǒng)使試件作進(jìn)給運(yùn)動(dòng),從而在涂層表面形成劃痕。用薄膜-基體界面處剝落所對(duì)應(yīng)的激光能量可表征界面結(jié)合強(qiáng)度,用理論分析和數(shù)值計(jì)算可得薄膜-基體界面的結(jié)合強(qiáng)度。適用于各種硬質(zhì)工具膜、裝飾膜系、裝飾功能膜、DLC薄膜、復(fù)合材料以及其它類型的界面結(jié)合強(qiáng)度的測(cè)定。