本發(fā)明公開了一種柔性超薄壁齒輪的強(qiáng)韌性復(fù)合熱處理工藝，通過實施三次熱處理工藝：球化退火、高溫淬火和高溫回火、等溫淬火，有效改善了柔性齒輪的抗拉強(qiáng)度和沖擊韌性。經(jīng)力學(xué)性能檢測，經(jīng)過本發(fā)明熱處理工藝后的柔性齒輪的抗拉強(qiáng)度和沖擊韌性，比常規(guī)熱處理后的柔性齒輪提高許多，柔性齒輪使用壽命達(dá)到5000小時以上。