極紫外光收集鏡系統(tǒng)的檢測裝置及應(yīng)用該檢測裝置對極紫外光收集鏡系統(tǒng)進行裝配的方法，涉及光收集系統(tǒng)檢測領(lǐng)域。解決了現(xiàn)有的極紫外光收集鏡系統(tǒng)的集成性差、獲得極紫外光的功率低的問題。它包括光源出射器和收集鏡系統(tǒng)支撐架、CCD傳感器、傳感器支撐架和計算機；收集鏡系統(tǒng)支撐架上固定有極紫外光收集鏡系統(tǒng)，CCD傳感器位于傳感器支撐架上，且CCD傳感器和傳感器支撐架均位于收集鏡系統(tǒng)支撐架下方，CCD傳感器的數(shù)據(jù)信號輸出端與計算機的數(shù)據(jù)信號輸入端連接，光源出射器出射面光經(jīng)極紫外光收集鏡系統(tǒng)掠入射反射后，匯聚至CCD傳感器，計算機用于測量CCD傳感器接收到的光斑和記錄光斑信息。用于對極紫外光收集鏡系統(tǒng)進行性能檢測。