本發(fā)明公開了一種石英鍍膜擺片性能測試裝置，包括測試平臺、定位架及顯微鏡測試系統(tǒng)，所述定位架與顯微鏡測試系統(tǒng)固設于所述測試平臺上。本發(fā)明主要是通過改進傳統(tǒng)的接觸性測量為非接觸型光學輔助性測量，將非精確性測量改進為精確性測量，為擺片在靜態(tài)下的下垂量提供了準確的測試數(shù)值，并通過有關數(shù)學公式將比剛度準確地反映出來。該性能測試裝置主要用于對慣性導航器件石英撓性加速度計中的重要零件進行性能檢測和質量篩選工作。為鍍膜擺片能更好地應用在石英撓性加速度計上提供了可靠的性能保障，避免了因為鍍膜擺片性能超差而造成的石英撓性加速度計在裝配完成之后無法通過例試試驗。