本發(fā)明涉及一種鎳鉻合金濺射靶材的制備方法，所述制備方法包括：先對鎳鉻合金鑄錠進(jìn)行致密化處理，再依次進(jìn)行鍛造、退火、軋制、終端退火、機(jī)加工，得到鎳鉻合金濺射靶材。所述制備方法針對熔煉鑄造得到的鎳鉻合金鑄錠的內(nèi)部缺陷問題，在熱塑性變形加工之前先進(jìn)行致密化處理，有效避免了鎳鉻合金濺射靶材的內(nèi)部缺陷問題，將成品率提高至90％以上；而且，制備得到的鎳鉻合金濺射靶材內(nèi)部結(jié)構(gòu)均勻，晶粒細(xì)小，晶?！?0μm，符合半導(dǎo)體等高精端產(chǎn)業(yè)的質(zhì)量要求。