本發(fā)明公開(kāi)了一種真空干燥條件的確定方法和真空干燥裝置。真空干燥裝置包括：抽真空機(jī)構(gòu)、加熱機(jī)構(gòu)、真空干燥腔、形貌檢測(cè)組件和控制機(jī)構(gòu)。采用該真空干燥裝置對(duì)OLED器件需要干燥的功能膜層進(jìn)行干燥，且在干燥過(guò)程中可以對(duì)功能膜層的形貌進(jìn)行實(shí)時(shí)掃描檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)對(duì)功能膜層的形貌變化的實(shí)時(shí)監(jiān)控；并可以通過(guò)對(duì)預(yù)設(shè)真空干燥條件下功能膜層形貌的實(shí)時(shí)平整度信號(hào)和基板形貌的初始平整度信號(hào)進(jìn)行比較，得到適合所述功能膜層干燥的真空干燥條件。進(jìn)一步地，在該真空干燥條件下對(duì)待干燥的功能膜層進(jìn)行干燥，能夠提高功能層成膜的均勻性，達(dá)到提高顯示器件性能的效果。