本發(fā)明提供一種超穩(wěn)定的銀鉭復(fù)合材料表面增強拉曼散射基底及其制備方法，采用磁控濺射沉積銀、鉭復(fù)合薄膜，將清洗干凈的單晶硅片抽真空并沉積鉻膜；控制電流強度，分別精確調(diào)控銀、鉭元素沉積速率，維持腔室反應(yīng)壓力，持續(xù)濺射沉積銀、鉭元素形成雙金屬復(fù)合材料，有效提高銀的耐腐蝕性及穩(wěn)定性，以實現(xiàn)超穩(wěn)定的表面增強拉曼散射檢測。本發(fā)明提供的銀鉭復(fù)合材料基底通過在真空條件下進行磁控濺射制備，其表面無污染、清潔度高，有效提高了表面增強拉曼散射檢測的靈敏度和準(zhǔn)確度。本發(fā)明制備過程簡單，比表面積大，成本低，便于工業(yè)化生產(chǎn)，能廣泛應(yīng)用于表面增強拉曼散射傳感、金屬催化、納米探針、光電器件、太陽能電池，吸附材料等領(lǐng)域。