本發(fā)明公開了一種NOx傳感器芯片性能分析方法和系統(tǒng)，包括：將傳感器芯片置于空氣氣氛下，通過循環(huán)伏安測試分別對芯片三個工作回路進行電極活化。將傳感器芯片置于空氣氣氛下，并在公共電極和第一工作電極間開展循環(huán)伏安測試，確定主泵工作電壓E0；在公共電極和第二工作電極間開展循環(huán)伏安測試，確定輔泵工作電壓E1；在公共電極和測試電極間開展循環(huán)伏安測試，確定測試電壓E2。將芯片置于NOx環(huán)境下，在第一工作回路施加主泵工作電壓E0，形成主泵工作電流Ip0；在第二工作回路施加輔泵工作電壓E1，形成輔泵工作電流Ip1；在測試回路施加主泵工作電壓E2，形成測試電流Ip2。所述三個回路形成的有效電流信號均可滿足傳感器芯片的設(shè)計要求時判定芯片合格。