本發(fā)明公開了一種利用原位化學(xué)熒光滴定測量氟原子產(chǎn)率的方法，本質(zhì)上是一種經(jīng)過改進的化學(xué)滴定方法。該方法特別適用于HF化學(xué)激光器，使用HF化學(xué)激光器中原本就存在的H2作為滴定劑，充分利用了HF化學(xué)激光器的原有裝置，不需要進行額外改動，具有方便易用的特點。此外，該方法所用的滴定指示信號是光腔原位化學(xué)熒光中NH(A)發(fā)光強度和N2(B)發(fā)光強度的比值，該比值只與主氣流中的氣流組分有關(guān)，與熒光絕對強度無關(guān)，因此能夠排除光譜測量時絕對光強度漲落噪聲的影響，可以有效提高測量準(zhǔn)確性。