本發(fā)明公開了一種多功能SF6氣體中分解產(chǎn)物各組分的綜合分析儀，包括進(jìn)氣及過濾組件、氣體分路計(jì)量組件、光譜組件、電化學(xué)組件、冷鏡微水組件、數(shù)據(jù)處理組件和總數(shù)據(jù)輸出組件，待測(cè)氣體通過進(jìn)氣管路連接進(jìn)氣及過濾組件，進(jìn)氣及過濾組件連接氣體分路計(jì)量組件，氣體分路計(jì)量組件分別連接光譜組件和冷鏡微水組件，光譜組件連接電化學(xué)組件，電化學(xué)組件和冷鏡微水組件一起電連接于數(shù)據(jù)處理組件，數(shù)據(jù)處理組件電連接于總數(shù)據(jù)輸出組件。本發(fā)明采用紅外吸收光譜技術(shù)和紫外吸收光譜技術(shù)，結(jié)合電化學(xué)傳感器技術(shù)，來檢測(cè)SF6氣體內(nèi)微量的CF4氣體組分含量和其余分解產(chǎn)物組分含量，實(shí)現(xiàn)對(duì)SF6氣體分解產(chǎn)物組分精確檢測(cè)的目的。