微波增強(qiáng)等離子體化學(xué)氣相沉積中功率-氣壓-溫度耦合方法，它涉及微波增強(qiáng)等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)的改進(jìn)方法。本發(fā)明要解決現(xiàn)有的MPCVD技術(shù)制備金剛石薄膜過程中，由于基體溫度、功率密度和沉積氣壓對(duì)于制備出的金剛石薄膜質(zhì)量影響大的問題。本發(fā)明方法為：步驟一、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)采集步驟；二、檢測(cè)試樣質(zhì)量；步驟三、制備工藝參數(shù)關(guān)系擬合。本發(fā)明的方法可以提高單晶金剛石的生長(zhǎng)質(zhì)量。