本實用新型提供一種蝕刻化學(xué)液配比質(zhì)量的裝置，包括中間貯槽、緩沖槽、反應(yīng)室、濃度分析儀、控制器和顯示器；中間貯槽與緩沖槽之間的導(dǎo)管設(shè)置有閥門，反應(yīng)室與緩沖槽之間設(shè)置有原料導(dǎo)管，使用中間貯槽將混合的化學(xué)液體進(jìn)行充分循環(huán)，打開閥門將循環(huán)完全的化學(xué)液體輸送到緩沖罐中，反應(yīng)時抽取緩沖罐內(nèi)的液體，并通過濃度分析儀進(jìn)行濃度的分析，濃度分析儀將分析后的數(shù)據(jù)輸送到控制器中，控制器將獲得的數(shù)據(jù)傳輸?shù)斤@示器上顯示，使得檢測人員知曉化學(xué)液體的濃度。同時控制器會將該濃度值與設(shè)定的值進(jìn)行比較，獲得符合條件的化學(xué)液體，進(jìn)而得到所需蝕刻率的濃度值，因此避免了測試成本與產(chǎn)能時間的損失，并提高了檢測的效率。