本發(fā)明屬于薄膜生長(zhǎng)監(jiān)測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種化學(xué)氣相沉積監(jiān)控系統(tǒng)及方法，薄膜材料放置于化學(xué)氣相沉積裝置內(nèi)；光學(xué)成像檢測(cè)裝置包括飛秒脈沖激光器、第一柱面透鏡、第一虛擬成像相位陣列、第一衍射光柵、第一顯微物鏡、第二顯微物鏡、第二衍射光柵、第二虛擬成像相位陣列、第二柱面透鏡、單模光纖、光電探測(cè)器、高速示波器。本發(fā)明通過光學(xué)成像檢測(cè)裝置實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜材料的生長(zhǎng)過程，快速、實(shí)時(shí)獲得薄膜材料生長(zhǎng)過程信息，通過與樣品數(shù)據(jù)庫數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比，實(shí)時(shí)調(diào)整生長(zhǎng)工藝參數(shù)以提高薄膜的生長(zhǎng)質(zhì)量。解決了現(xiàn)有技術(shù)中化學(xué)氣相沉積設(shè)備不能做到快速、實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜生長(zhǎng)狀態(tài)的問題，達(dá)到了能夠快速、實(shí)時(shí)獲得薄膜材料的生長(zhǎng)信息的技術(shù)效果。