本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械拋光墊,其具有拋光層;端點(diǎn)檢測(cè)窗;子襯墊;以及堆疊粘著劑;其中子襯墊包括與端點(diǎn)檢測(cè)窗光通信的多個(gè)孔口;并且其中拋光層的拋光表面適用于襯底的拋光。
聲明:
“具有窗口的化學(xué)機(jī)械拋光墊” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)