本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種研磨墊修整器及化學(xué)機(jī)械研磨裝置。所述研磨墊修整器，包括修整頭，所述修整頭中安裝有相互連接的傳感器和控制器，所述傳感器用于檢測(cè)所述修整頭與研磨頭之間的距離并傳輸至所述控制器；所述控制器中存儲(chǔ)有一預(yù)設(shè)距離，用于在所述修整頭與所述研磨頭之間的距離小于所述預(yù)設(shè)距離時(shí)，改變所述修整頭的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，以避免所述修整頭與所述研磨頭發(fā)生碰撞。本實(shí)用新型有效的防止了修整頭與研磨頭發(fā)生碰撞，避免了因碰撞導(dǎo)致的異物掉落對(duì)晶圓的損傷。