一種用于配制和控制室內(nèi)部氣體混合物中去活化化學(xué)品濃度的方法和儀器。氣體混合物可以包括作為去活化化學(xué)品的化學(xué)組分,以及作為基礎(chǔ)化學(xué)品的化學(xué)組分,其中基礎(chǔ)化學(xué)品充當(dāng)去活化化學(xué)品的稀釋劑或者去活化化學(xué)品的賦形劑或載體。將電容器暴露于氣體混合物,其中氣體混合物包含在電容器極板之間的電介質(zhì)。電介質(zhì)的電容率受化學(xué)組分的相對濃度影響,因此使用電容的測量來確定氣體混合物中多種化學(xué)組分的濃度水平。