本實(shí)用新型公開(kāi)了一種供應(yīng)化學(xué)品定容器的配比裝置，該裝置主要包括骨架、操控面板、化學(xué)研磨液混合供應(yīng)裝置、化學(xué)品定容器、壓力監(jiān)測(cè)表、液位傳感器、排氣裝置及相關(guān)控制閥。操控面板用于控制整個(gè)設(shè)備系統(tǒng)自動(dòng)化運(yùn)作；化學(xué)研磨液混合供應(yīng)裝置是用于生產(chǎn)中研磨液配比及供應(yīng)儲(chǔ)存使用；化學(xué)品定容器的材質(zhì)為聚四氟乙烯(PFA)具有耐腐蝕、耐壓的特性，主要用于化學(xué)品中轉(zhuǎn)儲(chǔ)存和定容定量，然后再經(jīng)氮?dú)怛?qū)動(dòng)化學(xué)品供應(yīng)到化學(xué)研磨液混合供應(yīng)裝置中混合配比；壓力監(jiān)測(cè)表用于氮?dú)廨斎牒突瘜W(xué)品定容器的壓力監(jiān)測(cè)，本實(shí)用新型解決了化學(xué)研磨液的調(diào)配過(guò)程中化學(xué)品注入容量不精確，流速不穩(wěn)定的問(wèn)題。