本發(fā)明公開了一種高純化學品連續(xù)穩(wěn)定輸送系統(tǒng)，包括貯存罐、緩沖罐和推送系統(tǒng)，所述推送系統(tǒng)包括第一推送系統(tǒng)和第二推送系統(tǒng)，所述第一推送系統(tǒng)和第二推送系統(tǒng)均與輸送總管連通，所述第一推送系統(tǒng)用于將貯存罐內的高純化學品推送至緩沖罐內，此為填充過程；所述第二推送系統(tǒng)用于將緩沖罐內的高純化學品推送至使用機臺，第一推送系統(tǒng)和第二推送系統(tǒng)上分別獨立設置有第一調壓閥和第二調壓閥，所述第二推送系統(tǒng)上還設有壓力傳感器和壓力監(jiān)測計。本發(fā)明高純化學品連續(xù)穩(wěn)定輸送系統(tǒng)結構布置合理，成本低，且有效實現了緩沖罐內的填充壓力與供應壓力的獨立穩(wěn)定可調，有效保證了高純化學品的連續(xù)穩(wěn)定供應。