一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積方法及裝置，實(shí)現(xiàn)長金屬管件內(nèi)表面薄膜沉積，有利于降低金屬管件內(nèi)表面鍍膜成本。用于金屬管件(5)加熱用的電控系統(tǒng)和溫控系統(tǒng)；與金屬管件(5)兩端相連接的導(dǎo)電夾具(3)；在金屬管件上包有保溫層(4)；與金屬管件(5)一端相連的金屬有機(jī)源導(dǎo)入通路；溫控系統(tǒng)連接該端的金屬管件(5)所連接的有機(jī)源揮發(fā)室(8)的溫度測試的外表面熱電偶(11)；與金屬管件(5)另一端相連接的由機(jī)械泵(1)、真空計(jì)(2)構(gòu)成的真空抽氣系統(tǒng)；用于金屬管件腔體真空保持的管件兩端絕緣密封件(6)；在機(jī)械泵(1)抽真空時(shí)，在金屬管件(5)腔體內(nèi)形成真空狀態(tài)；溫控系統(tǒng)連接該端的金屬管件(5)所連接的溫度測試的外表面熱電偶(12)。