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化學(xué)機械研磨系統(tǒng)

1015   編輯：管理員   來源：中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 07:01:16
一種化學(xué)機械研磨系統(tǒng)，包括一研磨墊，配置以研磨一基板?；瘜W(xué)機械研磨系統(tǒng)還包括一加熱系統(tǒng)，配置以調(diào)節(jié)研磨墊的溫度。加熱系統(tǒng)包括與研磨墊間隔開的至少一加熱元件?；瘜W(xué)機械研磨系統(tǒng)還包括一感應(yīng)器，配置以測量研磨墊的溫度。
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