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利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備硒化鉛薄膜的方法

1188   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 07:02:27
本發(fā)明屬于紅外探測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,一種利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備硒化鉛薄膜的方法。該方法包括以下步驟:(1)采用熱蒸發(fā)法在襯底上生長(zhǎng)硒化鉛薄膜;(2)采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積法處理硒化鉛薄膜。本發(fā)明微波等離子處理方法沒(méi)有導(dǎo)致硒元素流失,不改變?cè)牧系脑貥?gòu)成與材料性質(zhì),僅燒結(jié)現(xiàn)象提高其結(jié)晶程度,增強(qiáng)光電性能。
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“利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備硒化鉛薄膜的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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