本實用新型公開了一種拋光液供給位置核準(zhǔn)裝置和化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)，所述拋光液供給位置核準(zhǔn)裝置包括固定座和水平板，所述固定座可拆卸地設(shè)置于拋光盤的外周壁，所述水平板連接于所述固定座的頂部并朝向拋光盤的中心設(shè)置；所述水平板設(shè)置于拋光墊與拋光液供給臂之間，拋光液經(jīng)由所述拋光液供給臂的端部滴落至所述水平板的頂面，水平板的頂面設(shè)置有刻度線以量測拋光液的滴落位置。