可以通過以下制成一種具有兩個(gè)或更多個(gè)終點(diǎn)檢測窗口的化學(xué)機(jī)械拋光墊：提供結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包括拋光層，該拋光層具有限定水平方向的頂表面、底表面、以及從該頂表面延伸到該底表面的兩個(gè)或更多個(gè)孔口，其中，該兩個(gè)或更多個(gè)孔口中的每個(gè)孔口具有位于該孔口中的透明窗口，其中，這些窗口中的每個(gè)窗口具有從該拋光層的底表面向外延伸的部分，其中，該兩個(gè)或更多個(gè)孔口彼此相距選定的距離；在該底表面和這些窗口的從該底表面向外延伸的部分上施加子墊材料；并且通過移除該子墊材料的一部分，露出這些窗口，并且其中，該兩個(gè)或更多個(gè)孔口彼此保持該選定的距離。