根據(jù)本發(fā)明,一種用于例如晶片之類的試樣的化學(xué)機(jī)械拋光裝置(100),包括被結(jié)合其中的內(nèi)置檢驗(yàn)裝置(25)。該拋光裝置(100)還包括裝載單元(21)、化學(xué)機(jī)械拋光單元(22)、清洗單元(23)、烘干單元(24)和卸載單元(26)。化學(xué)機(jī)械拋光裝置(100)從前面的步驟(107)接收試樣,通過由設(shè)置在拋光裝置(100)內(nèi)的所述各單元對(duì)試樣執(zhí)行各過程并隨后將被加工的試樣傳送至后續(xù)步驟(109)。對(duì)在各單元之間傳送試樣而言,試樣裝載和卸載裝置和試樣傳送裝置不再必需。