本發(fā)明提供一具整合微流道的聲波感測(cè)裝置及其方法,是以一壓電塊材作為基板,以機(jī)電或化學(xué)加工方式做其感測(cè)區(qū)域成為壓電薄板,再利用指叉狀電極結(jié)構(gòu)(INTER-DIGITAL TRANSDUCER,IDT)使其產(chǎn)生平板撓曲波。本發(fā)明更可進(jìn)一步以同一制程或接合方式將微流道整合在同一具壓電特性的基板上。本發(fā)明利用新的元件制程及設(shè)計(jì),以制作出具有壓電特性佳、溫度補(bǔ)償特性穩(wěn)定及結(jié)構(gòu)堅(jiān)固的元件,將使得平板撓曲波可應(yīng)用于液態(tài)感測(cè)器上。因此本發(fā)明能解決現(xiàn)有的聲波感測(cè)裝置的壓電特性及薄膜結(jié)構(gòu)不佳等問(wèn)題。