本發(fā)明公開了結(jié)構(gòu)化超導(dǎo)帶單光子探測器；本發(fā)明通過結(jié)構(gòu)調(diào)控增加超導(dǎo)帶對光子響應(yīng)靈敏度，降低了常規(guī)超導(dǎo)單光子探測器對超導(dǎo)帶寬度的要求，從而可實(shí)現(xiàn)高靈敏單光子探測，并具有探測面積大、速度快、制備簡單，易于擴(kuò)展到大規(guī)模陣列結(jié)構(gòu)等特點(diǎn)。該單光子探測器自下到上依次包括襯底、幾何調(diào)控超導(dǎo)帶、電極、光學(xué)介質(zhì)層和光學(xué)反射鏡；制備方法主要包括：采用磁控濺射在襯底表面上沉積一層超導(dǎo)薄膜；采用光刻和剝離技術(shù)在超導(dǎo)薄膜上制備電極；利用電子束曝光技術(shù)和反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)在超導(dǎo)薄膜上制備具有結(jié)構(gòu)化超導(dǎo)帶形狀；利用化學(xué)氣相沉積技術(shù)和電子束蒸發(fā)技術(shù)在超導(dǎo)帶的表面上分別沉積一層光學(xué)介質(zhì)層和金屬反射層作為光學(xué)腔。