本發(fā)明提供在制造氟化酯化合物時,通過正確分析氟化酯化合物的量,或者在使氟化酯化合物發(fā)生化學轉換時,通過正確分析其消耗量或生成物的量,從而有效地得到所希望的收率或收率以上的生成物的制造方法。即本發(fā)明提供一種具有下述特征的氟化酯化合物的制造方法:在由原料化合物的化學反應制造氟化酯化合物的方法中,化學反應進行到以使用無極性柱的氣相色譜法測定的氟化酯化合物的收率達到所規(guī)定的收率為止。