本發(fā)明提出了一種全反射X射線熒光光譜儀，包括：樣品室，其包括用于盛放樣品的樣品臺(tái)、樣品定位裝置和用于探測所述樣品受X射線照射時(shí)產(chǎn)生的熒光的探測器；X射線管發(fā)生裝置，用于發(fā)射X射線照射至所述樣品，所述X射線入射至所述樣品的入射角＜0.1°；單色器裝置，用于將所述X射線形成單色光；控制裝置，用于接收所述探測器探測到的所述樣品產(chǎn)生的熒光和分析所述樣品中的元素及含量。本發(fā)明提出的一種全反射X熒光光譜儀，其以小于0.1°的角掠入射，整形成條狀的原級(jí)束被全反射，用于微量樣品和痕量元素化學(xué)分析。