鈦及鈦合金表面涂覆TiAlN的制備方法，它涉及一種鈦及鈦合金表面涂覆TiAlN的制備工藝。本發(fā)明按照下述步驟進(jìn)行：a.準(zhǔn)備好鈦合金試樣材料，然后進(jìn)行試樣鍍層制備前的檢查，經(jīng)過(guò)在三氯乙烯中超聲波清洗、汽油清洗(兩次)、水洗、酸洗、乙醇清洗，最后烘干；b.采用8弧源多弧離子鍍膜機(jī)制備TiAlN鍍層，將烘干后的試樣裝爐，進(jìn)行離子轟擊清洗，之后制備TiAlN鍍層，然后真空冷卻，出爐；c.TiAlN鍍層的制備工藝參數(shù)為：靶電流60-70A，基體負(fù)偏壓為-100～-400V，N2分壓0.32Pa，沉積溫度500℃和600℃，總沉積時(shí)間為120min，鍍層厚度約為3μm真空爐冷到80℃，試樣出爐；d.涂層表面EDS分析；e.鍍膜完成后，經(jīng)水洗、擦拭烘干、組裝、包裝。本發(fā)明得到的TiAlN化學(xué)穩(wěn)定性好、抗氧化磨損能力強(qiáng)、強(qiáng)度高、耐磨性好。