本發(fā)明具體涉及到一種新型微加熱器，其結構包括：承載玻璃片、鍍金導電涂層、加熱單元（鍍鉻涂層）、電極柱和鋁制熱沉平臺。本發(fā)明采用軟光刻微加工技術對鍍有金-鉻的玻璃片進行加工，實現一個加熱片上具備可并行工作的多個加熱單元；采用直流電源獲得焦耳熱，應用鋁制熱沉平臺進行有效散熱，以實現快速的響應和穩(wěn)定的溫度控制。本發(fā)明體積微小，易于與光學系統相結合以實現實時觀測，且耗能低至毫瓦級。本發(fā)明不僅能夠實現微米尺度面積上溫度的局部控制，而且易于與微流動系統高度集成，實現在生物和化學領域高通量分析。