本發(fā)明涉及一種硅懸臂梁傳感器及其制備方法和應(yīng)用,屬于微納米傳感器領(lǐng)域。即在懸臂梁的自由末端附近通過選擇性陽極氧化方法在氫氟酸溶液內(nèi)形成多孔硅結(jié)構(gòu)。利用該多孔硅區(qū)域增大的比表面結(jié)構(gòu),在硅孔內(nèi)壁上自組裝大量特異性識別的具有硅氧頭基和特異性尾基的線性聚合物或超枝化聚合物敏感分子,可以特異性俘獲大量的被檢測化學(xué)分子以積累較大的被測物俘獲質(zhì)量。本發(fā)明的一種硅懸臂梁傳感器結(jié)構(gòu)簡單、制作方便、容易實(shí)現(xiàn),可以應(yīng)用在痕量化學(xué)氣體檢測。