本發(fā)明公開(kāi)了一種光學(xué)感應(yīng)器，包括一具有上表面的襯底，位于襯底上的多個(gè)突起，其中多個(gè)突起中的每一個(gè)由襯底上表面的底部及一個(gè)或更多的與襯底上表面成一傾斜角的斜表面決定，及位于斜表面上的兩個(gè)或更多的結(jié)構(gòu)層。兩個(gè)或更多的結(jié)構(gòu)層的表面能夠吸附化學(xué)或生物物質(zhì)的分子。本發(fā)明還公開(kāi)了一種包含上述光學(xué)感應(yīng)器的系統(tǒng)及制作使用光散射感應(yīng)物質(zhì)的微結(jié)構(gòu)的方法。本發(fā)明公開(kāi)的系統(tǒng)和方法能夠增強(qiáng)檢測(cè)痕量化學(xué)物質(zhì)的散射光的強(qiáng)度。多層納米結(jié)構(gòu)中多層的不同物質(zhì)組成也能允許不同類(lèi)型的化學(xué)分子被吸附到納米結(jié)構(gòu)的表面，從而能夠檢測(cè)多于一種類(lèi)型的痕量化學(xué)物質(zhì)。