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制作擴(kuò)散阻擋層的方法

1016   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 07:33:26
本發(fā)明提供了一種制作擴(kuò)散阻擋層的方法,該方法包括:在反應(yīng)腔中通入稀釋性氣體、三甲基硅烷和氨氣,利用多頻等離子化學(xué)氣相沉積在填充于互連槽的銅表面和介質(zhì)層表面淀積一層擴(kuò)散阻擋層。采用本發(fā)明的方法,利用多頻等離子化學(xué)氣相沉積,縮小了擴(kuò)散阻擋層的折光指數(shù)的變化范圍,進(jìn)一步減小了檢測(cè)獲得的器件的擊穿電壓的變化范圍。
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