本發(fā)明涉及一種利用功能化碳納米管為敏感材料的微懸臂梁傳感器的制造方法,屬于微納傳感器領域。特征在于采用多壁碳納米管為傳感器制造原料,經(jīng)過強酸預處理,使多壁碳納米管表面形成可功能化修飾的反應活性點。然后依據(jù)分子自組裝技術,將多壁碳納米管固定到MEMS傳感器的金表面上。最后根據(jù)目標檢測氣體的化學性質(例如氨氣和羧基之間以及甲醛和胺基之間都存在著一定的氫鍵作用等),通過分子設計,將固定在MEMS傳感器金表面的碳納米管再次進行功能化基團修飾,使其可用于對特定目標氣體的檢測。