本發(fā)明提供一種研磨設(shè)備及研磨方法。研磨方法包括步驟：1)提供待研磨的晶圓，將所述晶圓放置于研磨設(shè)備中進行化學機械研磨；2)對化學機械研磨時產(chǎn)生的廢液進行采樣以獲得試樣溶液；3)對所述試樣溶液進行檢測以確定所述試樣溶液中待測離子的離子濃度，并根據(jù)所述離子濃度判斷研磨終點。本發(fā)明通過在研磨過程中對研磨產(chǎn)生的廢液進行采樣并檢測廢液中的離子類型和離子濃度，依據(jù)檢測到的離子濃度判斷研磨終點，有助于提高研磨終點判斷的準確性，提高晶圓研磨質(zhì)量及晶圓回收良率，有助于降低生產(chǎn)成本。本發(fā)明的研磨設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單、使用方便，有助于提高生產(chǎn)效率和良率。