本發(fā)明公開(kāi)了一種高純度二氧化硅的生產(chǎn)方法,其步驟包含:A)制備先導(dǎo)物,以化學(xué)合成方法制備含氟硅酸鹽官能基的含硅氟化物作為先導(dǎo)物;B)純化先導(dǎo)物,將步驟A)制備的先導(dǎo)物利用純化手段以去除元素周期表中的III、V族離子雜質(zhì),從而得到純化先導(dǎo)物,該純化先導(dǎo)物中:硼與磷含量介于1ppm至1ppb之間,過(guò)渡金屬含量介于1ppm至1ppb之間;更優(yōu)選,硼與磷含量介于10ppb至1ppb之間;C)以還原劑水解還原先導(dǎo)物制造二氧化硅產(chǎn)品,將依步驟B)純化分析而得的純化先導(dǎo)物,以高純度氨氣為還原劑,藉由水解反應(yīng)還原純化先導(dǎo)物中的硅,并得到高純度二氧化硅成品。本技術(shù)方案生產(chǎn)的二氧化純度質(zhì)量硅高,并且環(huán)保低污染、低生產(chǎn)成本。