本發(fā)明公開(kāi)了一種基于超表面和鈮酸鋰混合結(jié)構(gòu)的片上太赫茲傳感增強(qiáng)器件。其目的在于對(duì)微量生物化學(xué)物質(zhì)進(jìn)行高靈敏度檢測(cè)。通過(guò)調(diào)節(jié)金屬天線的長(zhǎng)度和介質(zhì)層二氧化硅的厚度，實(shí)現(xiàn)在更寬的頻率范圍內(nèi)對(duì)不同藥品的探測(cè)。采用的方案是：將天線陣列超表面鍍?cè)诔练e了二氧化硅層的亞波長(zhǎng)鈮酸鋰波導(dǎo)表面，然后在超表面上方涂抹薄層化學(xué)藥品。通過(guò)激發(fā)天線局域表面等離子體，從而增強(qiáng)物質(zhì)對(duì)特征頻段光的吸收，實(shí)現(xiàn)對(duì)物質(zhì)的高靈敏探測(cè)。本發(fā)明解決了由于樣品體積小，與光場(chǎng)作用弱，而造成信號(hào)微弱的問(wèn)題。本發(fā)明具有裝置簡(jiǎn)易，體積小，測(cè)量種類多，高靈敏度，便于操控等顯著特點(diǎn)，廣泛適用于生物化學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域?qū)ξ⒘课镔|(zhì)的太赫茲特征波譜的傳感探測(cè)。