本公開提供了一種集成CMOS?MEMS的高靈敏諧振式傳感器，包括：微流道諧振腔、MEMS懸臂梁結(jié)構(gòu)、惠斯通電橋檢測電路、CMOS信號處理電路；諧振式傳感器集成了MEMS懸臂梁結(jié)構(gòu)和CMOS信號處理電路，惠斯通電橋檢測電路輸出信號在CMOS信號處理電路內(nèi)閉環(huán)傳遞并激勵MEMS懸臂梁結(jié)構(gòu)諧振；通過獲取MEMS懸臂梁結(jié)構(gòu)在吸附待測物前后的頻率變化來計(jì)算待測物的質(zhì)量。本公開具有CMOS?MEMS集成度高、靈敏度高、可大規(guī)模制作等特點(diǎn)，相比于同類MEMS器件和電路模塊，占用面積減少了近90％，因此，非常適用于便攜式檢測，尤其是可穿戴系統(tǒng)，能夠廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)療、食品安全、化學(xué)化工、航天國防等領(lǐng)域。