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微納結構激光窗口及其制備方法

709   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 07:41:39
本發(fā)明公開了一種具有高透過高閾值抗激光損傷性能的微納結構激光窗口的制備方法,其步驟包括:(1)利用化學試劑超聲清洗拋光后的石英玻璃;(2)利用微量注射泵進行聚苯乙烯微球自組裝并將其轉移到超聲清洗后的石英玻璃上;(3)利用反應離子刻蝕技術對帶有聚苯乙烯微球的石英基底進行刻蝕,在石英基底上制備微納結構;(4)利用化學試劑對石英基底進行清洗,除去未完全反應的聚苯乙烯微球;(5)對制備的石英微納結構激光窗口進行透過率測試,并利用強激光對其進行輻射檢測其性能,證明具有高透過高閾值抗激光損傷的微納結構激光窗口的成功制備。該方法制備的微納結構激光窗口透過率高,增透波段寬,抗激光損傷性能強,并且方法簡單。
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